Con provvedimento del commissario plenipotenziario Giuseppe Rospigliosi del 27 giugno 1814 venivano istituiti dei vicari regi provvisori nei circondari dei commissariati regi di Arezzo, Pistoia, Modigliana, Pisa, Volterra e Montepulciano ( vedi ) e nella giurisdizione e nei territori del governo civile di Livorno ( vedi ), del luogotenente generale di Siena , del commissariato provvisorio di Pontremoli, del commissariato di Grosseto. Venivano loro attribuite le medesime "prerogative" di polizia e buon governo che i vicari possedevano anteriormente al 1807, da attuare sotto le dipendenze e il controllo della presidenza del buon governo e delle altre magistrature intermedie; per gli stessi vicari si preannunciava il ripristino delle attribuzioni giudiziarie, nel civile e nel criminale, possedute anteriormente al periodo napoleonico. Fu fatta eccezione per i tre vicari regi della Lunigiana e i quattro vicari regi del commissario di Grosseto a cui vennero, con la detta disposizione, attribuite funzioni giurisdizionali civili e criminali essendo stati aboliti i tribunali di prima istanza di Pontremoli e di Scanzano.
I vicariati sin dal XV secolo erano state forme di aggregazione e di organizzazione dei territori sotto il controllo e il potere di Firenze, con rilevanti prerogative di governo locale e di giurisdizione criminale e civile. Il vicario era dotato di ampia autorità quale rappresentante del governo centrale all'interno della sua circoscrizione, e nei confronti delle diverse podesterie e comunità che ne facevano parte, era inoltre giudice civile, nel suo luogo di residenza, giudice criminale ordinario per tutta la circoscrizione ed aveva funzioni di giudice istruttore nelle cause anche superiori alla propria competenza. In tal senso era dotato di propri organi esecutivi, di notai, di scrivani, ecc.; di un bilancio autonomo ed era sottoposto al diretto controllo del potere centrale.
Con le riforme leopoldine dell'ordinamento giudiziario e del governo delle comunità, i vicari, analogamente ai podestà, vedevano in qualche modo ridursi alcune loro precedenti prerogative, con il mantenimento tuttavia delle funzioni giudiziarie, di polizia, di vigilanza sull'ordine pubblico e sulla regolare applicazione delle leggi, regolamenti e procedure da parte degli organi periferici di governo.
Competeva ai vicari, tra le altre funzioni non direttamente giurisdizionali, la vigilanza sulla condotta dei notai, dei podestà, dei procuratori, dei bargelli, messi ed esecutori, con periodiche relazioni al governo centrale; ad essi era affidata la particolare tutela dei pupilli, degli incapaci, delle persone povere e la vigilanza sulla gestione delle tutele e curatele e sulla educazione dei giovani.
Avevano la cura e vigilanza sulle carceri e sulla condizione dei carcerati; sul buono stato delle parrocchie e delle fabbriche pubbliche, degli ospedali, delle scuole e stabilimenti di educazione. Esercitavano una particolare vigilanza sugli oziosi e vagabondi, sui forestieri e sulle persone sospette, sui luoghi di pubblico ritrovo. Nelle funzioni di polizia e di "potestà economica" potevano erogare multe, precetti e pubbliche riprensioni, il carcere fino a tre giorni, la reclusione in casa di correzione, dopo la verifica dei fatti, la loro contestazione, sulla base di fondati sospetti e anche in mancanza di prove piene. Potevano anche condannare i vagabondi all'esilio perpetuo dal Granducato. Nell'ambito dell'amministrazione delle comunità, competeva ai vicari la vigilanza sulla condotta dei cancellieri comunitativi, sulla imparzialità e corretto esercizio delle loro funzioni; competeva anche, tra le altre cose, ai vicari, la vigilanza sulle attività dei medici e chirurghi condotti. Di particolare delicatezza e rilevanza erano in sostanza le prerogative di polizia e di controllo e mantenimento dell'ordine pubblico con un complesso intrecciarsi di relazioni e rapporti tra potere centrale, vicari, podestà, ministri e rappresentanti periferici di governo.
Con le disposizioni delle segreterie di stato in materia di procedura criminale dell'8 luglio 1814 (  Bandi Toscana  , cod. 21, n. LXVIII) e con le relative istruzioni del 12 luglio 1814 (  Bandi Toscana  , cod. 21, n. LXXIII) si determinavano le competenze e le procedure, nel criminale, dei tribunali di prima istanza e della ruota criminale di Firenze (vedi Tribunale collegiale di prima istanza ); per la città di Firenze e il suo circondario le cause con pena inferiore al confino erano trattate da tre auditori a turno della stessa ruota criminale. Si stabilivano poi e si articolavano nelle procedure i compiti dei vicari in ordine alla istruzione dei processi criminali di competenza della ruota criminale e dei tribunali di prima istanza, e in ordine alla esecuzione delle loro sentenze. Il provvedimento citato richiamava in vigore la legge 30 agosto 1795 sui giudizi criminali (  Bandi Toscana  , cod. 16, n. XXXIII) e tutte le disposizioni che essa lasciava sussistere in materia di giustizia punitiva.
Dopo pochi mesi, con la riforma dei tribunali e magistrati civili del Granducato, attuata con provvedimento del 13 ottobre 1814 (  Bandi Toscana  , cod. 21, n. CLXV) si ripristinavano in tutto il territorio del Granducato i vicariati regi e le podesterie nello stato in cui si trovavano nel dicembre 1807 (salvo alcune varazioni territoriali e con uno schema generale semplificato).
I vicariati insieme alle podesterie e ad altre magistrature del Granducato venivano inseriti, nell'ambito delle loro competenze civili, nella giurisdizione delle rote civili di prima appellazione.
Nel civile giudicavano, con giurisdizione piena ma limitata ai territori della loro circoscrizione non soggetti a podesterie, nelle cause "ordinarie, sommarie, esecutive, mere civili, miste e commerciali".
Erano invece sottoposti ai vicari, nel contenzioso e nell'economico, i minori e gli incapaci, sia nell’ambito della loro particolare giurisdizione, sia nel territorio delle podesterie comprese nella loro giurisdizione criminale. In appello giudicavano nel civile le cause decise in prima istanza dai podestà, se di merito inferiore alle lire duecento.
Per le decisioni dei vicari era previsto appello, nelle cause inferiori alle lire duecento, ai commissari regi, agli auditori di governo, al magistrato civile e consolare di Livorno, al magistrato supremo civile di Firenze; per le cause superiori alle lire duecento o di valore incerto o non suscettibile di stima si interponeva appello alle rote civili di prima appellazione. Nel criminale giudicavano le cause la cui pena era inferiore al "confino", assumendo di fatto le competenze dei tribunali di prima istanza in via di abolizione. Nel criminale l'appello era di spettanza della rota criminale di Firenze. Con le istruzioni della presidenza del buon governo ai governatori ed ai commissari regi in data 16 aprile (  Bandi Toscana  , cod. 23, n. XLIV) si riaffermava la suprema direzione del Buon governo sugli affari in materia di polizia e sull'esercizio della "potestà economica", e si confermavano le prerogative dei vicari nelle competenze giurisdizionali, amministrative e di polizia, richiamando tuttavia la necessità di uno stretto rapporto e un coordinamento con i governatori e i commissari regi. Si determinava, tra l'altro, uno stretto collegamento con la presidenza del buon governo attraverso l'invio di rapporti settimanali sulla situazione dei territori, e sulle cause decise o in corso di decisione.
Le funzioni proprie dei vicari, in ambito giudiziario, erano svolte nei capoluoghi dei circondari, dagli auditori di governo (vedi) o dai commissari regi (vedi). Con notificazioni della consulta 23 agosto 1834 (  Bandi Toscana  , cod. 41, n. XLIX), si determinava la classificazione dei vicariati e podesterie del Granducato, in cinque e quattro classi al fine anche di determinare per i giusdicenti e loro addetti "un trattamento pecuniario certo e costante…… posante tutto direttamente sul regio erario". Con la Riforma dei tribunali civili e criminali del Granducato, attuata con motuproprio 2 agosto 1838 (  Bandi Toscana  , cod. 45, n. XLIII), veniva a realizzarsi una nuova ripartizione territoriale dei vicariati, inseriti nell'ambito delle circoscrizioni dei tribunali collegiali di prima istanza. Vicariati e podesterie erano compresi, sotto il profilo amministrativo e di polizia, nei vari circondari di commissariato e di governo, conservando tutte le attribuzioni in materia di polizia amministrativa che avevano in passato.
Nel giudiziario le competenze dei vicari venivano limitate; in ambito civile erano le medesime di quelle dei giudici civili ( vedi ) e dei podestà ( vedi ) con giudizio nelle cause di furto semplice o di "danno dato" di valore non superiore alle lire dieci, e nelle cause di offese lievi o ingiurie con pena prevista non superiore a giorni otto di carcere ed a lire venticinque di multa; istruivano poi gli altri processi criminali da inoltrare al regio procuratore ( vedi ) presso il tribunale di prima istanza per la prevista trasmissione al tribunale stesso e alla corte regia a seconda della natura del provvedimento.
Una circolare della presidenza del buon governo 17 ottobre 1844 (  Bandi Toscana  , cod. 51, n. LXXXVI) stabiliva ai vicari fossero date le stesse facoltà dei commissari di polizia di Firenze e Livorno per le condanne a pene pecuniarie in via "economica" (multe fino alla somma di lire dieci). Modifiche significative all'organizzazione territoriale dei vicariati e delle podesterie vennero determinate a seguito di notificazione della consulta regia 10 giugno 1846 (  Bandi Toscana  , cod. 53, n. XXXIX).
I vicari venivano soppressi con legge 9 marzo 1848 (  Bandi Toscana  , cod. 58, n. LXXXVIII) e le loro competenze ereditate dalle preture.