Al momento dell'unificazione nazionale sono in vigore i precedenti catasti riuniti nel 1864, in seguito alla legge sul conguaglio provvisorio dell’imposta fondiaria, in nove Compartimenti territoriali che, di massima, corrispondono agli Stati preunitari. Ciascuno di tali catasti era stato realizzato seguendo criteri propri e veniva conservato con modalità operative autonome. Nel 1865 era stata unificata l’imposta sui fabbricati e nel 1870 era stato prevista la formazione del Catasto fabbricati. Verrà emanata, nel corso dei decenni, una complessa normativa per la formazione e conservazione del nuovo catasto geometrico particellare che costituisce il Nuovo catasto terreni (NCT), approvato nel 1886, ma anche la base per la costituzione di un nuovo catasto fabbricati. Il Nuovo catasto terreni entrerà in conservazione settant’anni più tardi, nel 1956. Con legge del 1939, modificata nel 1948 e dotata di regolamento nel 1949, vengono stabiliti nuovi criteri, risultando insoddisfacenti tutti i precedenti, per l’accertamento generale degli immobili urbani, la rivalutazione del relativo reddito e la formazione del Nuovo catasto edilizio urbano (NCEU), secondo la nuova denominazione assunta dal Catasto fabbricati: alle operazioni di accertamento dei fabbricati e della valutazione della rendita, nonché alla formazione di un catasto generale dei fabbricati e altri immobili urbani (il Nuovo catasto edilizio urbano), provvede l’amministrazione del catasto con gli Uffici tecnici erariali. Il Nuovo catasto edilizio urbano entrerà in conservazione nel 1962.
Le competenze sul catasto affidate nel 1865 alle Agenzie delle imposte dirette vengono in parte assegnate nel 1881 anche agli Uffici tecnici di finanza, istituiti con  r.d. 6 mar. 1881, n. 120  , che ne approva il ruolo e definisce il quadro delle strutture periferiche dell'amministrazione catastale. Gli Uffici tecnici di finanza sono organi dell'amministrazione periferica con competenza provinciale ed espressamente preposti ai servizi del catasto e ad altri servizi di natura tecnico-erariale, con particolare riferimento alle tasse di fabbricazione ed alla tassa di vendita degli spiriti; questi uffici vengono posti alle dipendenze della Direzione generale delle imposte dirette e del catasto del Ministero delle finanze. Lo stesso decreto dispone anche la soppressione degli Uffici tecnici del macinato, che erano stati istituiti con  r.d. 13 mar. 1870, n. 5595  , esistenti nei capoluoghi di provincia con competenza sulla tassa sul macinato dei cereali e delle tre Direzioni tecniche del macinato di Firenze, Napoli e Torino da cui dipendevano. Le loro attribuzioni vengono affidate agli stessi Uffici tecnici di finanza, fino alla cessazione della tassa sul macinato.

Con il  r.d. 15 giu. 1884, n. 2419  , che approva il ruolo organico del personale tecnico di finanza e istituisce al centro un Ufficio del personale tecnico di finanza con funzioni anche ispettive, gli Uffici tecnici di finanza sono trasformati in Sezioni tecniche delle Intendenze di finanza che erano state istituite con r.d. 26 nov. 1869, n. 5286.
Con la  l. 1° mar. 1886, n. 3682  (legge Messedaglia) che riordina l’imposta fondiaria, viene finalmente stabilita l'attuazione di un Nuovo catasto terreni (NCT), fondato su rilevazione geometrico particellare e uniforme per tutto il territorio. Riguarda tutta la superficie del territorio, perciò non solo la parte sottoposta a imposta fondiaria, ma anche quella sottoposta a imposta sui fabbricati o esente da qualsiasi imposta.
La stessa legge istituisce un Ufficio generale del catasto, con compiti di direzione e vigilanza su tutte le operazioni catastali e le Giunte tecniche provinciali, per le operazioni di stima. Vengono anche istituite le Commissioni censuarie: una centrale, una in ogni provincia e una in ogni comune, con il compito di assistenza alla formazione catastale e di esame dei reclami. Costituiscono il catasto la mappa particellare, la tavola censuaria, il registro delle partite e la matricola dei possessori.
Il  r.d. 2 ago. 1887, n. 4871  , che approva il regolamento per l’esecuzione della  l. 1° marzo 1886, n. 3682  , sul riordinamento dell’imposta fondiaria, istituisce una Giunta superiore del catasto, cui spetta l’indirizzo generale e la vigilanza su tutte le operazioni catastali.
Con il  r.d. 20 set. 1887, n. 4959  , vengono approvati i ruoli organici della Giunta superiore, dell’Ufficio centrale e di otto Direzioni compartimentali del catasto, con sede a Roma, Torino, Milano, Firenze, Napoli, Bari, Palermo e Cagliari, espressamente destinate a cessare con l’attivazione del nuovo catasto. Alla Direzione compartimentale di Roma vengono aggregati i catasti di Massa-Carrara, di Modena e Reggio nell’Emilia, di Parma e Piacenza; a quella di Firenze i catasti di Lucca; a quella di Napoli rimangono i catasti di Napoli e Campania e dell’Abruzzo e Molise; a quella di Bari vengono assegnati i catasti della Puglia, della Calabria e della Basilicata. Così si presenta la nuova articolazione: Da queste otto Direzioni dipendono i Circoli d’ispezione e le Sezioni dei circoli d’ispezione con competenza provinciale.

Con  r.d. 15 lug. 1888, n. 5565  , che approva il nuovo ruolo organico del personale tecnico di finanza, si chiude la parentesi delle Sezioni tecniche delle Intendenza di finanza e vengono ricostituiti gli Uffici tecnici di finanza, posti sotto la vigilanza delle Intendenze e diretti da un ingegnere capo. Il  r.d. 14 nov. 1894, n. 480  , che stabilisce il ruolo organico del personale tecnico di finanza, riduce a 45 il numero degli Uffici tecnici, ampliandone la giurisdizione. Con la  l. 7 lug. 1902, n. 302  , relativa al personale dell’amministrazione del catasto e dei servizi tecnici di finanza, vengono fusi i ruoli del personale degli Uffici tecnici e del personale del catasto.
La  l. 11 lug. 1889, n. 6214  , prevede la revisione generale dei redditi dei fabbricati. Con r.d. 6 feb. 1896, n. 31, la Direzione generale delle imposte dirette e del catasto si sdoppia in una Direzione generale delle imposte dirette (detta poi sui redditi) ed una Direzione generale dle catasto, secondo un progressivo processo di distinzione di compiti che tende a potenziare attraverso lo sviluppo dei servizi tecnici le funzioni in materia di catasto degli Uffici tecnici di finanza.
Con  r.d. 4 lug. 1897, n. 276  , viene approvato il testo unico delle disposizioni legislative sulla conservazione dei catasti dei terreni e dei fabbricati, il cui regolamento di esecuzione è approvato con decreto in pari data, n. 277: vengono disciplinate le competenze delle Agenzie delle imposte dirette e del catasto; i catasti, terreni e fabbricati, sono conservati nei comuni amministrativi. Con  l. 7 lug. 1901, n. 321  , vengono emanati provvedimenti per l’attivazione del Nuovo catasto terreni e per l’esecuzione delle relative volture catastali: alcuni di questi provvedimenti risultano fondamentali anche ai fini del Catasto urbano. Infatti, con  l. 9 lug. 1905, n. 395  , contenente provvedimenti per la conservazione del Catasto urbano e di quelli antichi dei terreni, si provvede ad estendere al Catasto urbano alcune disposizioni della legge 321/1901. Il regolamento per la conservazione degli antichi catasti terreni e dei catasti urbani viene approvato con  r.d. 24 mar. 1907, n. 237  . La conservazione si fa sull’esemplare dei registri catastali e delle mappe affidati alle Agenzie delle imposte dirette e dei catasti per i comuni compresi nella propria circoscrizione distrettuale; nei compartimenti toscano, lombardo-veneto e parmensi sono conservati per duplicato, ma solo nella parte cartografica, dagli Uffici tecnici erariali.
Con  r.d. 28 ott. 1901, n. 472  , il Servizio tecnico di finanza viene aggregato all’amministrazione del catasto: l’Ufficio tecnico centrale del Ministero delle finanze viene unito alla Direzione generale del catasto che diventa Direzione generale del catasto e dei servizi tecnici; gli Uffici tecnici di finanza a livello provinciale sono posti alle dipendenze della Direzione generale. Con  l. 7 lug. 1902, n. 302  , che reca norme sul personale, viene creato un ruolo unico per il personale del catasto e di servizi tecnici di finanza; viene soppresso l’Ufficio tecnico centrale che diventa una divisione della Direzione generale del catasto e dei servizi tecnici.
Con  r.d. 9 set. 1917, n. 1546  , vengono riordinate le imposte dirette e modificate le aliquote di imposta. Il  r.d.l. 16 dic. 1922, n. 778  , detta disposizioni per la revisione del classamento dei terreni agli effetti del nuovo catasto (del 1886) e il  r.d.l. 7 gen. 1923, n. 17  , dispone la revisione generale degli estimi catastali. Il  r.d. 11 gen. 1923, n. 148  , estende ai territori annessi le imposte dirette vigenti nel Regno, mentre con  r.d. 30 dic. 1923, n. 3069  , viene ordinata una rivalutazione generale del reddito dei fabbricati. Nelle nuove province annesse dopo la prima guerra mondiale resta in vigore il Catasto austriaco, fondato sul Libro tavolare o Libro fondiario che, a differenza del Catasto italiano, ha valore probatorio.
Il  r.d. 8 ott. 1931, n. 1572  , approva il testo unico delle leggi sul nuovo catasto, il cui regolamento di esecuzione è approvato con  r.d. 12 ott. 1933, n. 1539  . Viene istituito, al centro, l’Ufficio generale del catasto, con funzioni tecniche e amministrative, coadiuvato dal collegio dei periti catastali. All’Ufficio generale del catasto spetta di provvedere all’allestimento degli atti necessari per eseguire l’attivazione del catasto. La conservazione del catasto si fa per duplicato su due esemplari di atti identici da tenersi presso i rispettivi uffici speciali. Gli Uffici tecnici catastali presiedono, nelle province, alla direzione e vigilanza dei lavori catastali. Con  d.m. 20 gen. 1936  viene approvata l’istruzione XIV per la disciplina delle operazioni dirette alla conservazione del nuovo catasto.
La  l. 8 giu. 1936, n. 1231  , reca modifiche alle leggi sulle imposte dirette, mentre con  r.d.l. 7 ago. 1936, n. 1639  , convertito in  l. 7 giu. 1937, n. 1016  , viene approvata la riforma degli ordinamenti tributari.

Il  r.d. 22 ott. 1936, n. 2007  , modifica il regolamento del personale degli Uffici finanziari, per quanto si riferisce al personale del catasto e dei servizi tecnici erariali e trasforma gli Uffici tecnici di finanza in Uffici tecnici erariali. Disciplina gli Uffici tecnici erariali e gli Uffici tecnici del catasto, nonché le Sezioni tecniche catastali.
Gli Uffici tecnici erariali dipendono dalla Direzione generale del catasto e dei Servizi tecnici erariali di quel dicastero e sono sotto la vigilanza delle Intendenze di finanza. Sono articolati in quattro Sezioni: Il  r.d. 10 mag. 1938, n. 664  , convertito in  l. 5 gen. 1939, n. 9  , semplifica la procedura per la conservazione del nuovo catasto: la conservazione spetta agli Uffici tecnici erariali, per i comuni della rispettiva provincia, e una copia della mappa, dei registri partitari e della matricola dei possessori viene depositata presso gli Uffici distrettuali delle imposte dirette (subentrati nel 1924 alle Agenzie delle imposte dirette e del catasto), unitamente a una copia del prontuario dei numeri di mappa. All’aggiornamento della copia dei registri partitari, della mappa particellare e del prontuario provvedono gli Uffici distrettuali delle imposte dirette in base agli elementi forniti dagli Uffici tecnici erariali che, invece, provvedono direttamente all’aggiornamento delle mappe. Con  r.d. 8 dic. 1938, n. 2153  , viene approvato il regolamento per la conservazione del Nuovo catasto terreni, mentre nel 1939 viene stabilita con  r.d.l. 13 apr. 1939, 589  , convertito in  l. 29 giu. 1939, n. 976  , la revisione generale degli estimi dei terreni. La conservazione viene eseguita su un unico esemplare degli atti da apposita Sezione dell’Ufficio tecnico erariale, per tutti i comuni della provincia; agli Uffici distrettuali delle imposte dirette vengono consegnate, per i comuni del rispettivo distretto, una copia della mappa particellare, una copia del registro delle partite, una copia della matricola dei possessori e una del prontuario dei numeri di mappa. Il Nuovo catasto terreni entrerà in vigore nel 1956.
Il  r.d.l. 13 apr. 1939, n. 652  , convertito in  l. 11 ago. 1939, n. 1249  , con modifiche, stabilisce nuovi criteri, risultando insoddisfacenti tutti i precedenti, per l’accertamento generale degli immobili urbani, la rivalutazione del relativo reddito e la formazione del Nuovo catasto edilizio urbano (NCEU). Alle operazioni di accertamento dei fabbricati e della valutazione della rendita, nonché alla formazione di un catasto generale dei fabbricati e altri immobili urbani, che si chiamerà nuovo catasto edilizio urbano, provvede l’amministrazione del catasto con gli Uffici tecnici erariali. Non rientrano nel catasto: Le variazioni occorrenti ai fini della conservazione del Nuovo catasto edilizio urbano sono fatte su tutti i documenti e per tutti i comuni della provincia dall’Ufficio tecnico erariale; una copia dello schedario delle partite, tenuta al corrente con le successive variazioni, è depositata presso gli Uffici distrettuali delle imposte dirette. Presso i detti Uffici è depositata una copia della mappa, da aggiornarsi periodicamente a cura degli Uffici tecnici erariali. I comuni possono ottenere gratuitamente a mezzo di propri incaricati o a loro spese a mezzo di personale dell’amministrazione catastale copia della mappa del loro territorio e degli atti che costituiscono il nuovo catasto edilizio urbano.
La  l. 17 ago. 1941, n. 1043  , modifica il testo unico delle leggi sul nuovo catasto del 1931 e ulteriori modifiche sono apportate nell’anno successivo. Nello stesso anno viene introdotto il metodo aerofotogrammetrico per il rilievo topografico, abbandonato dopo alcuni decenni.
Subito dopo la liberazione, con  d.m. 30 giu. 1945, n. 1441  , viene approvato il regolamento di servizio per gli uffici provinciali dell'amministrazione del catasto e dei servizi tecnici erariali.
Con  d.lgs.lgt. 7 feb. 1946, n. 30  , si stabilisce la rivalutazione degli estimi catastali dei terreni e del reddito agrario; analoghe misure sono prese nell’ottobre del 1946 e nel 1947, mentre il  d.lgs. 8 apr. 1948, n. 514  , modifica la legge sul Nuovo catasto edilizio urbano e la disciplina delle Commissioni censuarie, per le quali era già stata approvata una nuova disciplina con  l. 8 mar. 1943, n. 153  .
Fino al 1949, sul territorio nazionale esistono 54 Uffici tecnici erariali e 41 Uffici tecnici del catasto-Sezioni autonome i quali, a differenza degli Uffici tecnici veri e propri, limitano la propria competenza alle sole questioni di carattere catastale, tralasciando così le attribuzioni inerenti l'accertamento di alcune categorie di imposte statali. Con  d.m. 1° mar. 1949  viene modificata l’istruzione XIV per la disciplina delle operazioni dirette alla conservazione del nuovo catasto: la conservazione del nuovo catasto terreni è affidata ad apposita Sezione dell’Ufficio tecnico erariale che risulta articolato in quattro Sezioni: Successivamente, in considerazione anche delle crescenti richieste di interventi tecnici, viene emanato con  d.p.r. 1° dic. 1949, n. 1142  , il regolamento per la formazione del Nuovo catasto edilizio urbano, che entrerà in vigore il 1° gennaio 1962, cui seguono numerose modifiche e disposizioni di revisione dei coefficienti di aggiornamento delle rendite. Con questo provvedimento tutte le operazioni per la formazione e la conservazione del catasto vengono affidate all'Ufficio tecnico erariale e l'Ufficio distrettuale delle imposte dirette cessa definitivamente di avere competenza in materia catastale.
Gli Uffici tecnici erariali sono articolati in cinque Sezioni: Queste sezioni, a causa del progressivo ridursi delle attività di competenza, sono state progressivamente soppresse nella maggior parte degli uffici tecnici erariali.
L’Ufficio tecnico erariale provvede, pertanto, all’allestimento degli atti per eseguire l’attivazione del Nuovo catasto edilizio urbano: schedario dei numeri di mappa, schedario delle partite, schedario dei possessori e tutti gli altri atti ritenuti necessari dalla Direzione generale del catasto e servizi tecnici erariali.
Nel 1951 vengono emanate le norme per la perequazione tributaria, con  l. 11 gen. 1951, n. 25  (legge Vanoni), e con  l. 4 nov. 1951, n. 1219  , si cerca di adeguare l’imposta dei fabbricati alle concrete capacità di reddito dei fabbricati, mentre con  d.p.r. 29 gen. 1958, n. 654  , viene approvato il testo unico sulle imposte dirette.
La  l. 23 feb. 1960, n. 131  , disciplina l’applicazione dell’imposta fabbricati sulla base delle rendite nel Nuovo catasto edilizio urbano che entra in vigore a partire dal 1° gennaio 1962. Con  d.m. 28 ott. 1965  il Nuovo catasto edilizio urbano entra in vigore anche nella provincia di Trieste. Nel corso degli anni Sessanta vengono emanati vari decreti che aggiornano i coefficienti di rendita catastale, finché con  d.p.r. 29 set. 1973, n. 604  , viene approvata la revisione degli estimi e del classamento del catasto terreni e del nuovo catasto edilizio urbano. Si susseguono norme che modificano la disciplina delle imposte sul reddito e imposizione sulle case di abitazione e stabiliscono nuovi coefficienti di aggiornamento dei redditi agrari, per i quali si procede, con  d.m. 13 dic. 1979  ad una revisione generale.
Con  d.p.r. 1° ago. 1978, n. 511  , viene istituito il Centro informativo della Direzione generale del catasto e dei servizi tecnici erariali. A seguito del  d.p.r. 22 dic. 1986, n. 917  , che approva il testo unico delle imposte sui redditi, poi aggiornato e coordinato con successivo provvedimento del 1989 il Ministero delle finanze, con due decreti in pari data,  d.m. 20 gen. 1990  , stabilisce una ulteriore revisione degli estimi del catasto terreni e del catasto edilizio urbano. Con  d.l. 27 apr. 1990, n. 90  , convertito in  l. 26 giu. 1990, n. 165  , vengono approvate disposizioni in materia di determinazione del reddito ai fini delle imposte sui redditi e con  d.lgs. 31 ott. 1990, n. 347  , viene approvato il testo unico delle disposizioni concernenti le imposte ipotecaria e catastale. Dagli anni Ottanta era stata avviato il processo di automazione del catasto.
A seguito alla  l. 29 ott. 1991, n. 358  , che riorganizza il Ministero delle finanze e al  d.p.r. 27 mar. 1992, n. 287  , che approva il regolamento degli uffici e del personale, gli Uffici tecnici erariali vengono soppressi e le loro competenze attribuite agli Uffici unici del territorio, organi periferici del Dipartimento del territorio, subentrato a sua volta alla Direzione generale del catasto e dei servizi tecnici erariali.